近日，中電科風華信息裝備股份有限公司推出首款具備完全自主知識產(chǎn)權的第三代半導體晶圓缺陷檢測設備—Mars 4410。目前，該設備已陸續(xù)發(fā)往國內(nèi)多家客戶進行使用。 

Mars 4410是碳化硅器件產(chǎn)線中的關鍵裝備，用于對碳化硅襯底片、外延片、腐蝕片的缺陷檢測。設計團隊經(jīng)過兩年不懈努力，攻克了激光散射、顯微成像等光學檢測核心關鍵技術。

設備采用差分干涉相襯、光致發(fā)光、暗場等多種檢測手段，晶圓檢測可與數(shù)據(jù)分析并行處理，晶圓缺陷可與器件失效相關聯(lián)，具有低噪聲和高分辨率成像、高檢測通量、高檢出率和準確性等優(yōu)勢，能滿足提升SiC器件良率的需求。

在國家及省、市產(chǎn)業(yè)政策支持引導下，中電科風華加快技術攻關，推出碳化硅缺陷檢測設備，填補國內(nèi)空白，打破國際壟斷，實現(xiàn)進口替代，積極響應我國第三代半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的迫切需求，解決了“卡脖子”技術難題。中電科風華公司將會繼續(xù)致力于產(chǎn)業(yè)鏈自主化、國產(chǎn)化建設，為我國第三代半導體產(chǎn)業(yè)自主可控和高質(zhì)量發(fā)展保駕護航!